在上海一處現(xiàn)代化的半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)，伴隨著低沉的運轉(zhuǎn)聲，一塊硅片正在完成薄膜沉積的關(guān)鍵工序。其背后真空系統(tǒng)的排氣口處，一臺不起眼的裝置正將原本尖銳的氣流噪音降為平和的低語，不僅優(yōu)化了工作環(huán)境，更為精密工藝的穩(wěn)定運行提供了保障。

在半導(dǎo)體制造、平板顯示（FPD）生產(chǎn)和精密光學(xué)鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域，真空環(huán)境是實現(xiàn)微觀加工的基礎(chǔ)。

這些行業(yè)對真空的“潔凈度"有著追求——任何微量的油蒸氣或碳氫化合物污染都可能導(dǎo)致整批價值不菲的產(chǎn)品報廢。

正是在此背景下，無需油類密封液的 干式真空泵 成為了行業(yè)標配，而其中，多級羅茨型干泵 因其獨特優(yōu)勢占據(jù)了核心地位。

愛發(fā)科（ULVAC）作為真空技術(shù)，構(gòu)建了完備的多級羅茨干泵產(chǎn)品家族，而 “RS系列" 正是這一家族中專注于解決特定關(guān)鍵問題的精巧組件。

01 工業(yè)潔凈之需：從油泵到干泵的跨越

傳統(tǒng)油封式真空泵依靠油液進行密封、潤滑和散熱，在抽取工藝氣體時，油霧返流或油蒸氣污染真空腔室的風(fēng)險始終存在。這在生產(chǎn)納米級電路或高性能光學(xué)膜層的場景中是致命缺陷。

干泵的出現(xiàn)是一場革命。它通過在泵腔內(nèi)不使用任何密封液體，僅憑精密的機械結(jié)構(gòu)實現(xiàn)氣體的壓縮和輸送，從而從根源上杜絕了油污染，可獲得真正意義上的清潔真空。

半導(dǎo)體和FPD產(chǎn)業(yè)的工藝氣體通常具有腐蝕性、易凝結(jié)或含有微小顆粒，對泵的耐腐蝕性、抗粉塵能力和穩(wěn)定性提出了極限挑戰(zhàn)，這直接推動了多級羅茨型干泵等高性能干泵技術(shù)的發(fā)展。

02 技術(shù)核心：多級羅茨干泵如何工作

多級羅茨型干泵是干泵技術(shù)上的一顆明珠，其設(shè)計哲學(xué)是將羅茨泵（機械增壓泵）多段集成于一體。

想象一下，在堅固的泵殼內(nèi)，平行安置著兩個經(jīng)過精密動平衡校正的三葉轉(zhuǎn)子。它們通過一組高精度齒輪的嚙合，以同步的轉(zhuǎn)速、嚴格相反的相位進行高速旋轉(zhuǎn)。

精妙之處在于，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間，始終保持著一道微米級的恒定間隙，彼此接觸。

氣體從進氣口進入，被旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子“捕捉"并封閉在一個個由轉(zhuǎn)子葉片和泵殼形成的腔室內(nèi)。隨著轉(zhuǎn)子的繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，這些腔室的容積被壓縮，氣體被推向排氣側(cè)，壓力逐步升高。

所謂“多級"，是指轉(zhuǎn)子本身被設(shè)計成多段不同的螺距或形狀，相當于將多個壓縮級串聯(lián)在同一根軸上。

氣體從一級被初步壓縮后，直接進入第二級、第三級進行再壓縮，如此遞進，直至被壓縮至接近大氣壓并順利排出。

整個過程，氣體只與經(jīng)過特殊表面處理的金屬轉(zhuǎn)子及泵殼接觸。齒輪和軸承的潤滑被密封在獨立的腔體中，確保油汽無法進入主泵腔，實現(xiàn)了清潔排氣。

03 產(chǎn)品家族：愛發(fā)科的多級羅茨干泵矩陣

為應(yīng)對不同工藝的嚴苛要求，愛發(fā)科開發(fā)了多元化的多級羅茨干泵系列，每個系列都有其鮮明的技術(shù)側(cè)重點。

而RS系列在其中扮演了一個獨特而關(guān)鍵的角色——它并非一個獨立的泵型，而是專門為優(yōu)化多級羅茨干泵運行環(huán)境而設(shè)計的“消音器套件"。

RS系列消音器通過專用卡箍與泵的排氣口直接連接，安裝便捷。其消音效果，根據(jù)參考數(shù)據(jù)，對于特定泵型，加裝RS系列消音器后，排氣噪音可降低11至20分貝。這種從細微處著手、提升整體系統(tǒng)友好度的設(shè)計，體現(xiàn)了愛發(fā)科全面的產(chǎn)品生態(tài)思維。

04 應(yīng)用賦能：驅(qū)動制造的隱形引擎

多級羅茨干泵及RS消音系統(tǒng)的價值，在其廣泛而關(guān)鍵的應(yīng)用中得以彰顯。

在半導(dǎo)體前端制造中，它們?yōu)榈入x子刻蝕、化學(xué)氣相沉積（CVD）等核心設(shè)備提供穩(wěn)定、潔凈的真空環(huán)境，其耐腐蝕和抗粉塵特性是應(yīng)對腐蝕性工藝氣體的關(guān)鍵。

在平板顯示（FPD）制造中，用于大型玻璃基板的鍍膜、清洗和干燥工序，其大抽速和快速響應(yīng)能力保障了高產(chǎn)能需求。

在科研與精密光學(xué)領(lǐng)域，從空間環(huán)境模擬到引力波探測激光干涉儀的真空維持，再到高性能光學(xué)鍍膜，對真空的潔凈度和極限壓力有近乎的要求，多級羅茨干泵成為基礎(chǔ)支撐。

而RS消音器的存在，則讓這些強大的工業(yè)心臟運行得更為安靜，直接改善了操作人員的工作環(huán)境，并有助于滿足日益嚴格的工業(yè)場所噪聲排放法規(guī)。

05 前沿趨勢：智能化與能效的融合

干泵技術(shù)正朝著更智能、更高效的方向演進。以愛發(fā)科HR/UR系列為例，它們已集成通信功能，可遠程讀取泵的運行狀態(tài)、警告和報警歷史，通過專用軟件可實現(xiàn)集中監(jiān)控和預(yù)測性維護。

面對電網(wǎng)波動，瞬停對策技術(shù)（如在1000毫秒內(nèi)應(yīng)對瞬時停電）能大限度保護工藝和泵體本身。此外，如 “ECO-SHOCK" 這類劃時代的節(jié)能部件，通過搭載在現(xiàn)有干泵上即可實現(xiàn)大幅省電，響應(yīng)了制造業(yè)的綠色低碳號召。

從確保芯片良率的嚴苛工藝腔室，到靜謐運轉(zhuǎn)的科研實驗室，愛發(fā)科的多級羅茨干泵及其RS消音系統(tǒng)，共同構(gòu)建了一個強大而潔凈的真空基礎(chǔ)架構(gòu)。

它們不僅是抽取氣體的機械，更是保障現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)精密性、可靠性與可持續(xù)性的基石。在微觀世界制造的競賽中，誰掌握了更潔凈、更智能、更友好的真空技術(shù)，誰就握有了通向未來的關(guān)鍵鑰匙。