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RDA-281H:多級羅茨干泵,為精密工業輸送純凈的“真空”脈搏
更新時間:2026-02-03
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在半導體芯片微觀世界的蝕刻與沉積中,在科研實驗室分析儀器的穩定運行里,甚至在你手中智能手機屏幕鍍膜的生產線上,都有一個共同的、至關重要的需求:一個潔凈、高效且可靠的真空環境。傳統油封真空泵在帶來動力的同時,也帶來了油蒸氣污染的風險,這已成為制約高精尖產業發展的瓶頸之一。
日本愛發科(ULVAC)推出的RDA-281H多級羅茨型干式真空泵,正是為打破這一瓶頸而生。它摒棄了傳統的油介質,憑借其獨特的“無油"六階羅茨式工作原理,不僅在性能上比肩甚至超越了傳統油泵,更為現代工業提供了一顆持久、純凈且智能的“真空心臟"。
RDA-281H隸屬于ULVAC的多級羅茨干式真空泵RDA系列。其核心設計目標非常明確:在無需任何工作液(油或水)的前提下,實現從大氣壓到高真空的全程高效抽氣,確保被抽空間潔凈,杜絕油蒸氣返流污染。
它平衡了“大排氣量"與“小型尺寸"。在僅相當于一個中型工具箱的體積內(最小尺寸為寬180mm × 長520mm × 高377mm),集成了強大的抽氣能力,有效排氣速度高達280升/分鐘。這種緊湊高效的設計,使其能輕松集成到空間受限的精密設備內部,如分析儀器、鍍膜機臺或半導體工藝模組中。
RDA-281H的性能,根植于其精密的機械設計。它并非簡單的單級結構,而是采用了六級串聯的羅茨泵芯設計。每一級都包含一對經過精密動平衡校正的三葉轉子。當電機驅動這兩根平行轉子同步反向高速旋轉時,它們之間以及它們與泵腔之間始終保持微米級的間隙,沒有任何金屬接觸。
這種“無接觸"運行模式帶來了革命性的優勢:消除了因摩擦產生的磨屑和熱量,這是實現長壽命和免維護運行的根本。氣體被逐級壓縮,每一級承擔一部分壓縮比,最終平緩地將氣體從大氣壓推向高真空。這種多級設計不僅降低了單級的負荷和溫升,還顯著提升了泵對水蒸氣等可凝性氣體的處理能力。其大水分吸引量可達300克/小時,意味著即使在潮濕的工藝環境中也能穩定運行。
基于其核心技術,RDA-281H展現出一系列超越傳統油泵的性能,可以概括為以下三大支柱:
潔凈,杜絕污染:這是其最核心的價值。泵腔內沒有任何潤滑油,從根源上杜絕了油蒸氣、油霧或油分子對真空腔室和工藝產品的污染風險。這對于半導體制造、光學鍍膜、精密分析等領域是的保證。
寬域運行,一泵到底:RDA-281H具備從大氣壓(101325 Pa)直接啟動并一直抽到其極限壓力(在關閉吹掃氣“F.A"時可達8.0×10?2 Pa)的能力。這意味著在許多應用中,它可以作為獨立的主泵使用,無需配備復雜且昂貴的粗抽泵組,簡化了系統,提高了可靠性。
堅固耐用,經濟高效:“無滑動部件"的設計賦予了其極長的使用壽命和近乎免維護的特性。同時,它無需連接冷卻水系統,僅依靠氣冷和自然散熱,極大地降低了安裝復雜度和運行能耗。此外,單臺RDA-281H即可靈活適配主流的單相(100-115V/200-240V)或三相(200-240V)電源,適應性強
為了方便您更直觀地了解RDA-281H在同類產品中的定位,下表將其與幾種主流真空泵技術的關鍵特性進行了對比:
| 特性維度 | RDA-281H 多級羅茨干泵 | 傳統油封旋片泵 | 渦旋式干泵 | 隔膜式干泵 |
|---|---|---|---|---|
| 工作介質 | 干式(無油) | 需要真空油 | 干式(無油) | 干式(無油) |
| 潔凈度 | 高,無任何油污染 | 存在油蒸氣和返油風險 | 高,無油污染 | 高,無油污染 |
| 極限壓力 | 高(≤8.0×10?2 Pa) | 高(可達10?2 Pa量級) | 高(可達10?1 Pa量級) | 較低(通常>1 Pa) |
| 抽氣速度 | 大(280 L/min),緊湊體積下效率高 | 中等,同尺寸下可能較低 | 中等 | 小 |
| 耐水蒸氣能力 | 強(≤300 g/h) | 弱,需頻繁開啟氣鎮閥,導致油劣化 | 一般 | 弱 |
| 維護需求 | 極低,無摩擦損耗 | 高,需定期換油、清理油垢 | 中等,渦盤磨損后需更換 | 低,隔膜需定期更換 |
| 典型應用 | 半導體工藝、分析儀器、鍍膜、氣體回收 | 粗抽、對潔凈度要求不高的工業應用 | 實驗室、小型儀器粗抽與前級 | 小型實驗室儀器、采樣 |
憑借其潔凈、可靠和靈活的特性,RDA-281H已成為多個前沿領域的真空解決方案:
半導體與平板顯示制造:在薄膜沉積(CVD,PVD)、刻蝕、離子注入等關鍵工序中,作為工藝腔室的主泵或輸送泵,提供無烴污染的純凈真空環境,直接關系到芯片的良率和性能。
分析儀器:作為質譜儀、電子顯微鏡、能譜儀等高分析設備的核心部件,其穩定的真空背景是獲得精準數據的基石。
真空鍍膜:在光學鏡頭、消費電子蓋板、裝飾鍍膜等生產線中,確保膜層純凈、附著牢固、色彩均勻。
輔助系統:作為渦輪分子泵的理想前級泵(Backing Pump),或應用于氦氣檢漏儀、特種氣體回收系統等,提供可靠的后備支持。
ULVAC RDA-281H多級羅茨型干式真空泵,不僅僅是一個功能強大的工業部件。它是清潔真空技術理念的實體化,是精密制造業向更高純度、更優工藝邁進的基礎設施。它將復雜的真空獲取過程,濃縮進一個緊湊、安靜、幾乎無需照看的金屬箱體中。
在追求納米級精度和原子級純凈的今天,RDA-281H所代表的干式真空技術,正在重新定義“可靠"與“潔凈"的標準。它不僅是排除氣體的工具,更是為下一代科技創新保駕護航、開辟空間的賦能者。隨著半導體、新能源、新材料等產業的持續升級,這顆純凈的“真空心臟",必將跳動在更多關乎未來的核心領域。